“对，工厂。”
江川肯定道，开始用手指在空中比划，
“咱们不追求把东西做小，塞进一个盒子里。
咱们反过来，把东西做大，越大越好，摊开来做！”
“想要高质量、高功率的极紫外光源？
咱们不搞什么激光打锡滴了，
咱们直接建一个小型的、专用的电子同步辐射光源，
或者基于类似原理的定制化加速器！
规模可以比现在EUV光刻机里的光源部分大十倍、百倍！
稳定性、功率、光束质量，
完全可以碾压他们那个为了塞进飞机而不得不妥协的小玩意儿！”
“光学系统也一样，
不用再纠结于在有限空间里塞下几十面超高精度反射镜还要保持绝对稳定。
咱们有地儿！
建一条百米甚至更长的、恒温恒湿恒震的光学长廊，
把透镜、反射镜、掩模台、硅片台……
全都按照最理想、最稳定的方式布置开！
用空间换精度，用规模换稳定！”
“还有环境控制，整个‘光刻工厂’的核心区域，
可以建成一个超大型的、近乎绝对的洁净和稳定空间，把温度波动、振动、微粒干扰降到极限以下！”
江川语速加快：
“这样一来，咱们可能根本不需要去追求阿斯麦那种5纳米、3纳米的‘标称制程’。
因为咱们的光源质量更好、光学系统更稳、环境控制更变态，
用同样的甚至更落后一些的光学设计，
说不定就能稳定地实现更高精度的雕刻！
或者，能用更简单、更可靠的工艺步骤，
达到他们需要复杂多重曝光才能实现的效果，良品率自然就能上去！”
“而且，一旦这个光刻工厂建成，它就不是一台设备，而是一个平台！
一个可以不断升级、改进、扩展的平台！
光源老了？换更大的！
光学系统有新技术？加进去！
甚至以后有了全新的芯片制造原理，也可以在这个庞大的平台上开辟新的实验线！”
静！
死一般的寂静！！
会议室里，再次陷入了落针可闻的死寂。
一名博士下意识想反驳这完全违背常识，逆天的言论。
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