第850章 还需要点时间(第1页)

“确认。”

江川在意识中默念。

还没捂热乎的大笔成就点数,瞬间被划走一部分。

下一刻,

海量的信息流以超越之前任何一次的速度涌入、重组、构建!

他“看”到那台虚拟的NXE:3400C开始分解、变形、扩展……

光源部分被一个规模庞大数十倍、基于同步辐射原理的环形电子加速器所取代,

加速器内部,电子束在超强磁场约束下以接近光速狂奔,

辐射出强度、纯度和稳定性都远超激光轰击锡滴方案的极致极紫外光。

这束高质量的光被引导进一条长达数百米的、充满惰性气体的超稳定光学长廊。

长廊内,数十面直径数米、表面粗糙度达到原子级别的巨型反射镜,

在主动减震和温控系统加持下,

将光束无数次反射、整形、缩小,

最终精准地投射到一个足球场大小的、

恒温恒湿恒压且洁净度达到变态级别的曝光大厅。

大厅内,

不再是传统光刻机里那个小小的、快速移动的硅片台,

而是一个可以同时承载数十片、甚至数百片大尺寸晶圆的巨型精密载物平台,

平台本身也是一个复杂的多自由度运动系统,

与上方的光刻工厂核心光学出口进行着纳米级的同步。

围绕着这个核心曝光区,是同样规模庞大的辅助系统集群:

超纯化学药剂供给与回收管道粗如巨龙

刻蚀、沉积、离子注入等前后道工艺模块以模块化方式环绕分布,

通过自动导引车和真空传输管道相连

遍布各处的传感器网络实时监控着数千万个参数

中央超算根据实时数据动态调整着整个工厂的运行状态……

这不仅仅是一个放大的光刻机,

这是一个彻底重构的、高度集成的、基于全新物理原理和工程理念的“芯片制造超级综合体”!

它牺牲了所有移动性和外部适配性,

将所有的技术潜力都压榨到了空间、稳定性和规模化生产这一个方向上。

方案中甚至包含了用于未来可能“后光刻”或“非光刻”器件制备的实验线接口预留。

无数张设计图纸、工艺流程图、物料清单、控制系统架构图、建设时序表

甚至初
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