60光刻巨头缘何崛起(第1页)

光刻巨头缘何崛起

攀岩高手咬紧牙关,你争我夺,在半山腰的时候体能透支,全靠意志在硬抗,突然听到下面有人喊:「哥们,这边有电梯啊!」这就是光刻巨头 ASML 崛起的故事。

商业是一个漫长的马拉松,先发不一定是优势,也可能意味着严重的先行者惩罚。

光刻机市场曾经是尼康的天下,ASML(2)是个名不见经传的小厂,别人吃肉,它喝汤,吃不饱但是也饿不着,一直不温不火的,直到一次契机的出现。

我们知道,光刻机是生产芯片的,原理就是用光来雕刻电路图,光越细,刻的东西就越多,芯片就越强。

问题是,无法更细了怎么办?

大家不停地缩短波长,但是到 193nm 的时候出现了「瓶颈」。想缩到 157nm,却发现怎么也无法突破。为了攻克难关,几乎整个半导体行业都参与进来,投入了数十亿的美元和无数人力、物力,集中在两个方案上:一个是尼康的稳健方案,即仍然使用现有技术,升级到 157nm 的 F2 激光;一个是联盟的激进方案,直接采用全新光源,跳过 157nm,直接达到 10nm。

但商业是要考虑成本的,这两个方案在当时看来,要么成本太高,要么难度太大。

所有人都在咬牙硬抗的时候,当时的台积电(3)副总经理林本坚提出了一个天马行空的想法:能不能既不换光源也不升级呢?不就是要把光变细吗?为什么不能通过水来折射呢?为什么一定要在空气中传播呢?

193nm/1.4 的折射率 =132nm,远超 157nm。

成本低、难度低、落地性高。设备无须大改,想办法把空气换成水,攻克介质难关就行了。如果更进一步,原理跑通了,换成折射率更高的液体,理论上还能继续变细,可扩展性也极佳。

这下,很多人不愿意了,凭什么我们辛辛苦苦爬山,你按个电梯就上来了?凭什么我们投入海量的人力、物力,你改个介质就行了?不要过来搅局。

于是,林本坚发表了很多论文来消除疑虑,论证其理论的可行性,尝试说服各个大厂采用这个以水为介质的方案,但基本都被拒绝了。毕竟大家没日没夜地投入了这么多,突然要作废了,改走另外一条路,情感上也不太能接受。

最后只有 ASML 同意了:一方面它是小厂,掉头方便,没那么多顾虑。而巨头们都已经到半山腰了,它还在下面系鞋带呢,所以
(本章节未完结,点击下一页翻页继续阅读)